什么是壓阻式壓力傳感器？

發(fā)布時(shí)間：2022-12-08 01:00:32 作者：知網(wǎng)小編 來源：www.elxoepd.cn

壓阻式壓力傳感器是應(yīng)用最廣泛的壓力傳感器之一。 壓阻式壓力傳感器是利用硅 的壓阻效應(yīng)和微電子技術(shù)制成的，它具有靈敏度高、動(dòng)態(tài)響應(yīng)好、準(zhǔn)確度高、易于微 型化和集成化等特點(diǎn)，是獲得廣泛應(yīng)用，而且是發(fā)展迅速的一種新的物性型傳感器。 早期的壓阻傳感器是利用半導(dǎo)體應(yīng)變片制成的粘貼型壓阻傳感器。 70年代以后，研制 出周邊固支的力敏電阻與硅膜片一體化的擴(kuò)散型壓阻傳感器。 它易于批量生產(chǎn)，能夠方便地實(shí)現(xiàn)微型化、繼承化和智能化。 因而，它成為受到 人們普遍重視并重點(diǎn)開發(fā)的具有代表性的新型傳感器。 1.1.4 傳統(tǒng)壓力傳感器的局限性 傳統(tǒng)的傳感器技術(shù)為了提高其性能， 在制作材料方漸必須滿足多品種、 高性能的 要求，這就使得其成本居高不下， 而且對(duì)制作過程要求非常嚴(yán)格。

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